Plasma Ätzen

Plasma Ätzen ist eine hervorragende, ergänzende Präparationsmethodik um z.B. Kontaminationsbedingte Artefakte der Probenoberfläche zu eliminieren oder auch Schichten im Nanometer-Maßstab sukzessive abzutragen (Ionenätzen).

Plasma Ätzen mit LEO 1525

Die Plasma Ätz- und Poliereinrichtung ist am Rasterelektronenmikroskop LEO 1525 angeflanscht.

Dadurch ist es möglich die mittels Argon Ionenplasma behandelten Proben unmittelbar kontaminationsfrei im Hochvakuum ins REM zur Untersuchung einzuschleusen.