LEO 1525 Gemini

Feldemmissionskathode für Auflösungen bis ca. 2 nm

LEO 1525 Gemini - mit folgenden Einrichtungen, die gleichzeitig parallel zur Untersuchung von Proben im Rasterelektronenmikroskop eingesetzt werden können.

Allgemeine Daten

Probenabmessungen lateral 120 mm x 120 mm / Höhe bis 30 mm
Beschleunigungsspannung 100 Volt bis 30 kV
Sekundärelektronen-Detektor (Everhard-Thornley)
High-Efficiency InLens-Detektor für Hochauflösung
AsB; winkelsensitiver 4-Quadranten Halbleiter Rückstreuelektronendetektor
Infrarot Kamera in der Probenkammer
EDX, CL