Elementverteilungsbilder mit Hilfe von EDX

Die Erstellung von Elementverteilungsbildern mit Hilfe von EDX und Mapping-Funktion wird in 3 Schritten durchgeführt.


1. Aufnahme eines REM-Bildes eines interessierenden Bereichs bereits unter Berücksichtigung verschiedener Detektoren (SE, RE, InLens oder CL)


2. Aufnahme eines Summenspektrums und Indizierung der vorkommenden Elemente


3. Auswahl der relevanten Elemente und Aufnahme eines Elementverteilungsbildes

Jede Farbe repräsentiert ein Element aus der EDX Analyse.